评价范围：涉及的建（构）筑物：位于杭州湾上虞经济开发区〔2023〕G4号地的1#生产厂房、特气房、化学品库、液氮储罐、液氩储罐、废水站。涉及的原辅料：氢、丙烯、五氯化钽、氩〔压缩的或液化的〕、氮〔压缩的或液化的〕、甲基三氯硅烷、柴油、甲烷、等静压石墨、R134a（1，1，1，2-四氟乙烷）、氢氧化钠，共11种。涉及的工艺：机加工生产工艺、高纯半导体用石墨件工艺、涂层石墨件工艺及配套供气、物料储运等辅助工艺。涉及的设备、设施：纯化炉、涂层炉和数控车床等。与上述工艺系统相配套项目自身的给排水、供配电、动力等公用工程及其他辅助设施。建设项目与周边环境相互影响；总平面布置。